温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种MEMS麦克风、电子设备及MEMS麦克风的制备方法，所述MEMS麦克风包括基底和第一振膜，所述第一振膜设置于所述基底上，所述第一振膜远离所述基底的一侧具有第一支撑件，所述基底上形成有声腔，所述第一振膜与所述声腔相对；背板结构...
该专利属于潍坊歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊歌尔微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。