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电介质薄膜、薄膜电容器及其制作方法技术
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文档序号:3870114
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本发明公开了一种具有高介电常数、低损耗和低的漏电流的电介质薄膜及薄膜电容器,以及薄膜电容器的制备方法,属于电子材料及元器件的技术领域。电介质薄膜的化学式为Ba1-x-ySryMnxTiO3,其中0≤y<1,0<x≤0.05。薄膜的介电常数≥...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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