下载一种晶圆上料装置的技术资料

文档序号:38693007

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本实用新型公开了一种晶圆上料装置,包括上料机和料仓,上料机包括机架、设置在机架内的安装平台以及设置在安装平台一侧并凸出安装平台上端面的仓门口,料仓可设置在安装平台上,机架内设置有用于驱动安装平台滑动的一号驱动机构,料仓下端面设置有一号槽和二...
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