下载一种铝钪合金靶材的回收利用方法的技术资料

文档序号:38687141

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本发明提供了一种铝钪合金靶材的回收利用方法,所述回收利用方法包括依次进行的预处理、表面除杂和真空悬浮熔炼;所述预处理包括依次进行的靶材分类、去除背板和切割处理;所述表面除杂包括依次进行的超声波清洗和干燥处理;所述真空悬浮熔炼包括至少2次熔炼...
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