下载一种半导体元器件加工车间湿度保持装置的技术资料

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本发明提供一种半导体元器件加工车间湿度保持装置,涉及车间环境控制领域。该半导体元器件加工车间湿度保持装置,包括雾化器,所述雾化器一侧设置有气体处理箱,所述气体处理箱底部设置有气泵,所述气泵进气口固定连接有进气弯管,所述进气弯管顶部固定连接有...
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