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本发明提供一种半导体干燥装置，半导体干燥装置，包括：支撑摆臂；旋转驱动机构，与所述支撑摆臂驱动连接，所述旋转机构用于驱动所述支撑摆臂摆动；第一喷嘴，设置在所述支撑摆臂上，能沿所述支撑摆臂直线运动；所述第一喷嘴用于喷洒第一流体；第二喷嘴，设置...
该专利属于真芯（北京）半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过真芯（北京）半导体有限责任公司授权不得商用。

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