下载一种基于低RDS的N沟道增强型MOSFET器件及制造方法的技术资料

文档序号:38682287

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本发明公开了一种基于低RDS的N沟道增强型MOSFET器件及制造方法,属于半导体器件设计及制造领域,包括:半导体衬底,以及在半导体衬底上生长出的外延层;金属层,金属层设置于外延层上;沟槽结构,设置于外延层中,沟槽结构包括至少两个器件单胞,器...
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