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本发明公开了一种基于低RDS的N沟道增强型MOSFET器件及制造方法,属于半导体器件设计及制造领域,包括:半导体衬底,以及在半导体衬底上生长出的外延层;金属层,金属层设置于外延层上;沟槽结构,设置于外延层中,沟槽结构包括至少两个器件单胞,器...该专利属于福建康博电子技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建康博电子技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种基于低RDS的N沟道增强型MOSFET器件及制造方法,属于半导体器件设计及制造领域,包括:半导体衬底,以及在半导体衬底上生长出的外延层;金属层,金属层设置于外延层上;沟槽结构,设置于外延层中,沟槽结构包括至少两个器件单胞,器...