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本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种真空镀膜设备的工件受热机构，包括真空镀膜箱，真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有支杆，支杆的四面上均设置有若干电加热管，真空镀膜箱的底部设置有转盘，转盘的中心固定连接有转轴，转轴转动连接在真空镀膜箱的...
该专利属于聚能纳米科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚能纳米科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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