下载一种功率芯片凸点的结构及其制作方法的技术资料

文档序号:38671638

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本发明申请公开了一种功率芯片凸点的结构及其制作方法,包括以下步骤:焊层制作步骤:在芯片的电极区金属层上制作焊层,以保护功能区;填料步骤:在焊层上涂覆保护膜,蚀刻保护膜,暴露出焊层顶面;焊接步骤:在暴露的焊层顶面填上焊料,并将对应尺寸的焊球放...
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