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激光系统的控制方法、激光系统和电子器件的制造方法技术方案
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文档序号:38668833
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激光系统统包含:振荡级激光器,其输出第1激光;以及放大级激光器,其对第1激光进行放大,输出第2激光。激光系统的控制方法包含以下步骤:判定放大级激光器的放大特性变化的条件;在判定为满足条件的情况下,取得第1激光的脉冲能量与第2激光的参数之间的...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。
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