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本实用新型涉及一种DUV用掩模版无接触卸载保护膜的装置，包括基座以及位于基座同一侧的支撑块、第一驱动组件、滑块、螺杆、第二驱动组件以及加热件。本申请提供的上述方案，首先将掩模版放置到基座上的支撑块上，然后通过第一驱动组件带动滑块运动到预设位...
该专利属于深圳市龙图光罩股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市龙图光罩股份有限公司授权不得商用。

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