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本发明公开了一种射频离子源实现阻抗匹配网络设计的优化方法，包括给两个真空电容器分别设定一个初始电容值；测量输入阻抗的值并且确定其实部和虚部的值；求出射频离子源等效阻抗实部、虚部及阻抗的值；求出两个真空电容器相对应的实际电容值，按照所求的实际...
该专利属于江苏鹏举半导体设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鹏举半导体设备技术有限公司授权不得商用。

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