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本实用新型公开一种热丝CVD设备，涉及真空设备技术领域，该设备包括镀膜腔室、阴极柱、阳极柱、热丝、电源、喷气管路、气源、聚气罩和机械泵，其中，镀膜腔室，具有真空腔。并列设置的两个阴极柱，一部分设置于所述真空腔内。并列设置的两个阳极柱，一部分...
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