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本申请涉及用于温度控制的光学部件的热管理。本申请涉及包括光学部件的结构和制造包括光学部件的结构的方法。该结构包括：衬底；包括波导芯的光学部件；以及包括散热层的后段制程堆叠。光学部件在竖直方向上位于衬底和后段制程堆叠之间。波导芯包含具有第一导...
该专利属于格芯（美国）集成电路科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格芯（美国）集成电路科技有限公司授权不得商用。

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