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声表面波压力温度传感器制造技术
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文档序号:3864276
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本发明公开了一种声表面波压力温度传感器,支架的内壁上设有凸起部分和互不接触的两个导电层,该两个导电层分别覆盖支架的凸起部分,温度传感器衬底和压力传感器衬底分别密封安装在支架的凸起部分的两侧,支架的凸起部分、压力传感器衬底和温度传感器衬底之间...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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