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本实用新型涉及磁控溅射装置领域，具体公开了一种接线结构及真空镀膜用磁控溅射装置，包括：本体，装置本体的一侧外壁设有接线槽，接线槽的两侧内壁设有卡槽，卡槽的一侧外壁设有限位槽一；实际使用时，手持接线头按压按块，使调节板挤压弹簧在空腔中进行滑动...
该专利属于迈捷克纳米科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈捷克纳米科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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