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本实用新型公开了一种新型晶圆测试机用晶粒检测装置。此装置为视检工作提供了操作空间，并改进了光源安装结构和待检品承载机构。在构造层面，本实用新型在纵向滑套上丝接有顶压在下L型管上的第二锁紧螺栓，上L型管的两条边分别嵌入至纵向滑套和水平滑套中，...
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