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本发明涉及硅单晶制备装置，旨在提供一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉。该生长炉包括加热器、石英坩埚和保温装置，石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置；在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套；所述水冷夹套是中空的夹套设备...
该专利属于上虞晶盛机电工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上虞晶盛机电工程有限公司授权不得商用。

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