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本发明公开了一种具有温度均衡功能的浸没控制单元，浸没控制单元环绕在末端投影物镜的径向外侧，并且位于衬底的上方，浸没控制单元内部包含流道，所述流道至少包括供液流道和抽排流道，浸液经流道被提供至末端投影物镜和衬底之间的空间，并在该空间中形成流动...
该专利属于浙江启尔机电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江启尔机电技术有限公司授权不得商用。

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