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本发明提供一种半导体设备用配置文件的形成方法，其特征在于，包括步骤：S1、在程序文件中，寻找主界面的共同标记，寻找同一级子界面的共同标记，寻找不同功能的共同标记；S2、形成层级结构框架；S3、形成配置文件。本发明提供的半导体设备用配置文件的...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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