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本申请公开了一种派货异常的检测、处理方法及装置，用以实现半导体生产设备派货异常的实时自动检测，从而提高派货异常检测的工作效率，满足作业需求。本申请提供的一种派货异常的检测方法，包括：确定被检测对象处于闲置状态，并且无法派货；其中，所述被检测...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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