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本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域。所述半导体器件包括:衬底;栅极结构,设置在所述衬底上;侧墙结构,设置在所述栅极结构的两侧;凹部,设置在所述侧墙结构两侧的所述衬底内以及所述栅极结构上;掺杂层,设置在所述凹部上,或所...该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,属于半导体技术领域。所述半导体器件包括:衬底;栅极结构,设置在所述衬底上;侧墙结构,设置在所述栅极结构的两侧;凹部,设置在所述侧墙结构两侧的所述衬底内以及所述栅极结构上;掺杂层,设置在所述凹部上,或所...