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一种振膜材料、制备方法及声波传感器技术
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文档序号:38619404
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本发明提供一种振膜材料、制备方法及声波传感器;振膜材料包括硅膜和石墨烯膜;其中,所述石墨烯膜通过范德华力生长在所述硅膜上,形成石墨烯
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该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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