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本发明涉及一种线性离子束源装置及利用该装置沉积类金刚石碳薄膜的方法，该装置包括有：阴极（１），阳极（２），阴极（１）和阳极（２）之间形成有电离区域（７），用于将可电离的气体引导进入所述电离区域（７）的气体供应通道（４），以及用于在所述电离区...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
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