温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

至少一个鳍结构可以被创建在硅衬底上。接下来，所述至少一个鳍结构的宽度可以通过应用自限制鳍蚀刻过程的一次或多次迭代来减小。自限制鳍蚀刻过程的一次或多次迭代来减小。自限制鳍蚀刻过程的一次或多次迭代来减小。
...
该专利属于美商新思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美商新思科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。