下载一种制备锗单晶的单晶炉及其工艺的技术资料

文档序号:38613426

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本发明公开一种制备锗单晶的单晶炉及其工艺,包括提升部,提升部包括底板,底板的顶面一侧设置有导向装置,导向装置上传动连接有转向装置;熔融部,熔融部设置在提升部的一侧,熔融部包括支架,支架固接在底板的顶面另一侧,支架的顶部固接有熔融装置,熔融装...
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