下载一种集成电路及其制作方法、场效应晶体管的技术资料

文档序号:38611336

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本申请实施例提供一种集成电路及其制作方法、场效应晶体管,涉及集成电路技术领域,可以简化集成电路的制作过程,降低生产成本。该集成电路包括衬底以及设置在衬底上的FinFET;还包括GAAFET和/或forksheet FET;FinFET包括第...
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