下载一种通用型比较法真空校准装置和方法的技术资料

文档序号:38605058

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本申请提供了一种通用型比较法真空校准装置和方法,属于真空校准技术领域,包括机械泵、分子泵、高真空校准室、低真空校准室和气源,机械泵的一端通过第二阀门与分子泵连接,另一端通过第三阀门与低真空校准室连接;分子泵通过三通管分别连接有步进式插板阀和...
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