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本发明涉及具有堆叠的包覆材料层的光波导，揭示包括波导芯以及围绕该波导芯的波导包覆层的光波导。该波导包覆层包括横向邻近该波导芯的侧壁设置的包覆材料层的至少一个堆叠，以使该堆叠中的各包覆材料层与该波导芯的该侧壁邻接。该堆叠中的各该包覆材料层与该...
该专利属于格芯（美国）集成电路科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格芯（美国）集成电路科技有限公司授权不得商用。

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