具有堆叠的包覆材料层的光波导制造技术

本发明专利技术涉及具有堆叠的包覆材料层的光波导，揭示包括波导芯以及围绕该波导芯的波导包覆层的光波导。该波导包覆层包括横向邻近该波导芯的侧壁设置的包覆材料层的至少一个堆叠，以使该堆叠中的各包覆材料层与该波导芯的该侧壁邻接。该堆叠中的各该包覆材料层与该波导芯相比具有较小的折射率，且该堆叠中的该包覆材料层的至少其中两个具有不同的折射率，从而调节场限制并改变光学模式的形状。不同的实施例包括在该堆叠中的不同数目的包覆材料层、该包覆材料层的不同堆叠顺序、不同的波导芯类型、在该波导芯的相对侧上的对称或不对称的包覆结构等。本发明专利技术还揭示形成该光波导的方法。本发明专利技术还揭示形成该光波导的方法。本发明专利技术还揭示形成该光波导的方法。

【技术实现步骤摘要】
具有堆叠的包覆材料层的光波导


[0001]本专利技术涉及光波导(optical waveguide)，尤其涉及光波导的实施例以及形成该光波导的方法。

技术介绍

[0002]光波导是一种在光子集成电路(photonic integrated circuit；PIC)结构中引导光信号传播的物理结构。此类光波导可包括具有细长形状并由波导包覆层围绕的波导芯(也称为传输介质)。波导芯(waveguide core)与波导包覆层(waveguide cladding)可为不同的材料，具体地说，芯材料与包覆层材料相比可具有较大的折射率。波导包覆层的功能是通过在芯材料与包覆层材料之间的界面处的反射将光信号限制于波导芯内，以促进通过波导芯的光信号传播。光信号在波导芯内的限制被确立为芯材料与包覆层材料之间的折射率对比度(refractive index contrast)的函数。具体地说，芯材料与包覆层材料之间的折射率对比度越高，限制越大，反之亦然。此外，光信号在波导芯内传播通过的区域的形状及位置(在本文中称为光学模式)被确立为波导芯的尺寸(包括宽度、高度、图案化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种结构，其特征在于，包括：波导芯；以及包覆材料层的堆叠，横向邻近该波导芯的侧壁设置，其中，该堆叠中的各该包覆材料层与该侧壁邻接，以及其中，该堆叠中的该包覆材料层的至少其中两个具有不同的折射率。2.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该堆叠包括：第一包覆材料层；以及位于该第一包覆材料层上的第二包覆材料层，以及其中，该第一包覆材料层及该第二包覆材料层与该波导芯相比具有较小的折射率。3.如权利要求2所述的结构，其特征在于，该第一包覆材料层具有第一折射率，以及其中，该第二包覆材料层具有小于该第一折射率的第二折射率。4.如权利要求2所述的结构，其特征在于，该第一包覆材料层具有第一折射率，以及其中，该第二包覆材料层具有大于该第一折射率的第二折射率。5.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括横向邻近该波导芯的相对侧壁设置的该包覆材料层的额外堆叠，其中，该堆叠与该额外堆叠是对称的。6.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括横向邻近该波导芯的相对侧壁设置的至少一个包覆材料层，其中，该堆叠与位于该相对侧壁上的该至少一个包覆材料层是不对称的。7.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该波导芯是脊型波导芯、肋型波导芯以及槽型波导芯的其中任意一种。8.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该波导芯包括氮化硅及硅的其中任意一种。9.一种结构，其特征在于，包括：波导芯；以及包覆材料层的堆叠，横向邻近该波导芯的侧壁设置，其中，该堆叠中的各该包覆材料层与该侧壁邻接，其中，该堆叠包括至少三个包覆材料层，以及其中，该堆叠中的该包覆材料层的至少其中两个具有不同的折射率。10.如权利要求9所述的结构，其特征在于，该堆叠包括：第一包覆材料层；位于该第一包覆材料层上的第二包覆材料层；以及位于该第二包覆材料层上的第三包覆材料层，其中，该第一包覆材料层、该第二包覆材料层，以及该第三包覆材料层与该波导芯相比具有较小的折射率，以及其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：格芯美国集成电路科技有限公司，
类型：发明
国别省市：