下载存储器器件及其形成方法、存储单元的技术资料

文档序号:38592281

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本发明的实施例提供一种形成存储器器件的方法,包括:在衬底上方形成绝缘体层,其中所述绝缘体层定义第一开口;在所述第一开口内形成导通孔;在所述导通孔上方形成存储单元堆叠,其中所述存储单元堆叠包含上覆于吸气剂金属层的第一电极、上覆于所述第一电极的...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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