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本实用新型公开了一种晶圆振镜激光扫描模组，包括激光装置、作业平台装置、CCD装置激光装设有一能够驱动移动的载盘组件；作业平台装置位于作业平台装置的上方，配置为与工件进行激光雕刻；CCD装置设于激光装置的工作端并与其同步，配置为对工件进行定位...
该专利属于苏州天弘激光股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天弘激光股份有限公司授权不得商用。

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