温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于非线性内共振现象的二维MEMS微镜及其驱动方法，包括反射镜、可动框架、驱动梁、使反射镜以及可动框架以第一旋转共振模态绕水平轴偏转的外部扭转弹簧，使反射镜以第二旋转共振模态绕垂直轴偏转的内部扭转弹簧，以及控制电路，第一旋转共振模态为反...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。