下载反射镜耦合设备及半导体激光器生产系统的技术资料

文档序号:38589968

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本实用新型提供一种反射镜耦合设备及半导体激光器生产系统,涉及半导体激光器制造技术领域,包括调节组件、功率计组件和夹具组件;调节组件包括驱动机构和吸嘴,驱动机构与吸嘴连接,吸嘴用于吸附反射镜,驱动机构能够带动吸嘴相对于半导体激光器半成品移动,...
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