下载一种异步双光路激光蚀刻装置的技术资料

文档序号:38580413

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本实用新型涉及激光加工技术领域,提供一种异步双光路激光蚀刻装置,包括加工平台、支撑件、X轴驱动组件、第一光路系统及第二光路系统;加工平台用于承载工件;支撑件与加工平台的上表面间隔设置;X轴驱动组件、第一光路系统和第二光路系统均设于支撑件上,...
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