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[问题]提供一种除去牺牲层上部的方法。[解决方案]一种除去牺牲层上部的方法，包括以下步骤：(1)将包含具有能被酸解离的保护基的聚合物(A)和溶剂(B)的牺牲溶液施用到基板上方；(2)由所施用的牺牲溶液形成牺牲层；(3)使酸性水溶液与牺牲层的...
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