温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于检验例如平整经图案化介质等玻璃衬底的系统包含气动工作台，所述气动工作台固持所述玻璃衬底。所述气动工作台包含作为空气轴承发射气体的小卡盘。相机安置于所述气动工作台上方且在跨越所述玻璃衬底的顶表面的宽度的方向上移动。组合件包含经配置以在...
该专利属于飞腾动力公司所有，仅供学习研究参考，未经过飞腾动力公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。