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垂直腔面发射激光器及其形成方法技术
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文档序号:38577446
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一种垂直腔面发射激光器及其形成方法,方法包括:提供衬底,衬底包括器件区和环绕所述器件区的第一隔离区,器件区包括发射区和环绕所述发射区的第二;在衬底表面依次形成第一反射镜结构、有源层、至少两层重叠的第二反射镜结构以及位于相邻第二反射镜结构之间...
该专利属于常州承芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州承芯半导体有限公司授权不得商用。
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