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一种垂直腔面发射激光器的形成方法，包括：提供衬底；在衬底表面依次形成第一反射镜结构、有源层、第二反射镜结构、第一钝化层和第一光刻胶层；提供掩膜版结构，第一区上具有第一图案，第二区上具有第二图案；采用掩膜版结构对所述器件区上的所述第一光刻胶层...
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