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本发明涉及一种基板支撑装置。为此，根据本发明一实施例的基板支撑装置包括：基板支撑部，在上部安装有晶片，且包括第一网状电极以及布置在所述第一网状电极的下部的第二网状电极；夹持电路部，利用所述第一网状电极施加直流电压；以及边沿控制电路部，对与所...
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