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本实用新型涉及一种研磨机上料晶圆吸取机构，包括安装板、调平底座、调平螺丝、衬套、滑动吸杆、吸盘以及缓冲机构，所述调平底座通过所述调平螺丝安装于所述安装板上；所述衬套固定于所述调平底座的中部；所述滑动吸杆限位于所述衬套的中部，并与所述衬套滑动...
该专利属于苏州和研精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州和研精密科技有限公司授权不得商用。

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