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本文公开了用于执行用于增强扫描电子显微镜(SEM)图像的混合机器学习方法的方法和系统。方法包括以下步骤：采集样本的区域的多个图像，该多个图像各自通过用脉冲式带电粒子束照射该样本而生成；放大每个单独图像以生成该样本的该区域的多个放大图像；以及...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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