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本实用新型涉及半导体晶圆技术领域，尤其为一款半导体晶圆识别排序设备，包括机体，所述机体顶部设置有用于对晶圆卡槽的上料架，所述机体顶部设置有多个卡槽架，多个所述卡槽架内壁均设置有空卡槽，所述机体顶部设置有对晶圆卡槽进行排序的排序组件。本实用新...
该专利属于芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司授权不得商用。

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