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本发明提供一种平整度检测装置及其检测方法，该平整度检测装置包含载台、感测模块以及显示模块，该载台具有相对的第一表面、第二表面及贯穿该第一表面与该第二表面的多个通孔；该感测模块邻近该载台的该第二表面设置，该感测模块具有多个距离感测器；该显示模...
该专利属于达运精密工业（厦门）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过达运精密工业（厦门）有限公司授权不得商用。

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