下载一种基于VO2夹层阵列的太赫兹吸收器及其制备方法的技术资料

文档序号:38553677

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本发明公开了一种基于VO2夹层阵列的太赫兹吸收器及其制备方法,该方法包括以下步骤:利用微液滴自组装法制备单层SiO2微球阵列基板;利用电子束真空镀膜仪,设置靶材蒸发入射角和样品台方位角参数,在单层SiO2微球阵列基板上依次沉积Ag
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