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一种紧凑型马赫泽德调制器芯片制造技术
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文档序号:38552405
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本公开涉及光通信技术领域,尤其涉及一种紧凑型马赫泽德调制器芯片。其中,该芯片包括:光波导结构,光波导结构构成马赫泽德干涉仪,马赫泽德干涉仪包括两个调制臂,每个调制臂均包括波导布拉格光栅;两个集总式高频电极,集总式高频电极一一对应设置在波导布...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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