下载一种光学元件缺陷检测方法、装置及存储介质的技术资料

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本发明提供了一种光学元件缺陷检测方法、装置及存储介质,涉及光学元件缺陷检测技术领域。所述方法包括:获取待测元件的初始荧光强度数据,并对初始荧光强度数据进行去噪处理,得到第一荧光强度数据;获取仪器响应函数,并根据仪器响应函数和第一荧光强度数据...
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