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本实用新型属于半导体制造技术领域，提供了一种电镀设备电流检测系统，包括：若干电流检测模块，电流检测模块和待测直流电源一一对应设置；电流检测模块之间级联，电流检测模块的地址根据对应的待测直流电源的IP地址确定；一数据采集模块，和电流检测模块连...
该专利属于江苏神州半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏神州半导体科技有限公司授权不得商用。

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