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本发明提供了一种靶材密封槽的密封性检具、密封性检测系统装置和使用方法。所述密封性检具包括检具主体；所述检具主体的顶面上设置有凹槽，所述凹槽用于容纳靶材密封槽；所述检具主体的顶面边缘向外延伸形成第一边沿；所述凹槽的边缘和所述第一边沿的连接处由...
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