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本发明提供了一种底部U型栅围栅晶体管器件,其中,包括衬底、第一源区、第一漏区、第一控制栅以及第一沟道层;其中,第一源区与第一漏区中掺杂有第一离子;第一沟道层表征了最接近衬底的沟道层;第一控制栅表征了最接近衬底的控制栅;第二源区,形成于衬底与...该专利属于上海集成电路制造创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路制造创新中心有限公司授权不得商用。
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